工廠轉讓2臺進口光弛真空電鍍膜機

1：特征

真空室尺寸：Φ600-1800mm60點/80點式

光學膜厚監控使用均勻分布的高離子電流密度的離子源搭載雙電子槍，

多點和環型坩堝可鍍100層以上利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程工件架可選擇鐘罩式或行星式排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵OTFC-900CBI/DBI真空室SUS304,

2：規格

 φ900mm×1300mm (H)工件架φ 790mm工件架轉速10 rpm to 30 rpm (可變)光學膜厚控制HOM2-R-VIS3**光學膜厚監控儀波長范圍：350nm to1100nm反射式/透射式可選水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器蒸發源電子槍2套離子源10cm RF 離子源排氣系統機械泵+1個擴散泵+Polycold（或1個冷凝泵）

3：性能

達到壓力7.0 × 10-5 Pa 以下排氣時間15 分 (大氣壓 1.3×10-3 Pa)基板溫度**：350℃工作條件設備尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.電源3相,200v,50/60Hz, 約80KVA水流量180升/分以上空氣壓力0.5MPa 以上重量約5400kg 

1：特征

真空室尺寸：Φ600-1800mm60點/80點式光學膜厚監控使用均勻分布的高離子電流密度的離子源搭載雙電子槍，多點和環型坩堝可鍍100層以上利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程工件架可選擇鐘罩式或行星式排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵規格設備名稱

2：規格

OTFC-1300CBI/DBI真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)工件架φ1130mm工件架轉速10rpm to 50rpm(可變)光學膜厚控制HOM2-R-VIS3**光學膜厚監控儀

波長范圍：350nm to 1100nm

反射式/透射式水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器蒸發源電子槍2套離子源17cmRF離子源排氣系統機械泵+2個擴散泵+Polycold（或2個冷凝泵）

3：性能

達到壓力7.0×10-5 Pa 以下排氣時間15分（大氣壓～1.3×10-3 Pa)基板溫度**：350℃工作條件設備尺寸約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)電源3相,200v,50/60Hz, 約104KVA水流量140升/分以上空氣壓力0.5MPa以上重量約8500kg