晶片規格：
2-8〞單、雙cassette

主要材料:
金屬骨架+SUS304殼體，槽體材質SUS316

工藝槽功能：
循環過濾+加熱

基礎工藝流程:
藥液槽→丙酮→IPA→QDR

設備類型：
手動/半自動/全自動（定制）

Footprint : 1800 (W) x 1300 (D) x 2000(H) mm